來源:河南迪凡科技 發布時間:2022-10-25 10:39:58 點擊次數:727
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11 & rdquo.期間,承擔了國家科技重大專項";超大規模集成電路制造設備及成套工藝
取得多項突破,我國集成電路制造水平首次達到國際先進水平
是記者從科技部、北京市和上海市在京召開的新聞發布會上獲悉的
據介紹,";11 & rdquo.在此期間,啟動了58個專項,各項任務按計劃有序開展,共申請專利4248件,取得了許多標志性成果
在成套工藝方面,突破了一批核心技術,實現了65納米成套工藝的批量生產,使我國集成電路成套工藝技術實現跨越式發展,進入國際主流水平
在設備和零部件方面,一批12英寸關鍵機產品和關鍵零部件取得突破,改變了長期以來被國外公司壟斷的被動局面
封裝測試方面,形成了較為完整的密封測試產業鏈,大大增強了國內企業的競爭實力
關鍵材料方面,一批適用于65納米工藝的關鍵材料取得突破,進入12英寸生產線批量應用
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